1. ICP-AES主要用于溶液分析，XRF主要用于固体分析;
2.XRF对标准匹配的要求非常高，因此标准的配制及标准曲线制作比较麻烦，但一旦制作成功即可长期使用，而ICP-AES对对标准匹配的要求相对不那么严格，标准的配制及标准曲线制作比较简单;
3. XRF是非破坏性分析，ICP-AES则是破坏性分析;
4. ICP-AES分析线性范围较宽，达5-6个数量级，可测定从微量到常量的70多种元素;XRF的分析线性范围相对较窄，主要用于分析常量及低量元素;
5. ICP-AES的应用面比较广，XRF的应用面不如ICP-AES。
XRF：样品基本不用前处理;ICP：样品需要消解为溶液。
XRF：检出限较高，百分含量级别;ICP：检出限低，部分元素PPB。
XRF：范围F-U;ICP：范围除了惰性，ONHC。
XRF：标样困难;ICP：标样容易。
XRF：快捷筛选定性;ICP：精确定量。
