SEM测试场发射扫描电镜测试

  • 国家
    美国
  • 型号
    德国Sigma 500/美国FEI·F50
  • 测试项目
    固体样品的微观形貌、结构,样品的微区元素成份及线分布、面分布能谱
  • 样品要求
    样品高度小于15mm,直径小于30mm, 若样品不导电,请告知是否需要进行镀金处理; 样品不能含水分;有磁性(含有Fe、Ni、Co任一种元素)请提前告知。

● 技术指标

电镜分辨率: 1.5nm @ 15kV;2.0nm @ 10kV;3.0nm @ 5kV

加速电压: 500V~30kV

束流大小: 最大20nA 

测试案例

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